關鍵索引詞：

 MEMS 微機電系統

 MEMS傳感器

 MEMS 光學掃描儀

 微機械陀螺儀

 MEMS簡介：

    微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用于高新技術產業，是一項關系到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。

MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。

MEMS是一個獨立的智能系統，可大批量生產，其系統尺寸在幾毫米乃至更小，其內部結構一般在微米甚至納米量級。常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產品。

MEMS光柵應用測試：

    MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數（如周期、光柵等常數）發生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現光柵的可編程應用。基于其*的優勢，MEMS光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。MEMS光柵具有多種驅動方式，而靜電驅動的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實現、耗能低、頻率響應高，因此是常用的驅動方式。的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅動的。 靜電驅動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作 位移（微米級），就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚 至達到上百伏。當結構受靜電力作用，由于機械結構*的慣性而產生彈性振蕩，增大系統延遲。實際工作時，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導致驅動電路容性負載的變化。這些都為設計驅動電路帶來困難。 因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于驅動放大器的性能。

MEMS測試功率放大器：

西安安泰電子科技有限公司生產的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關應用的動態驅動研發測試的理想選擇。

    ATA-2000系列功率放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應用，提供的*的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應的匹配阻抗。 

  ATA-2000系列功率放大器的增益數控可調，通過0.1的步進對于信號進行放大，方便用戶調試。同時具有100:1的信號監控口，方便用戶實時觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂。